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06
2026
-
11
突破 ZYGO 视野方案,德国大视场技术可兼容全系高倍物镜
传统 ZYGO 白光干涉仪的大视场方案依赖专属 ZWF 大视野物镜,属于独立专用镜头配置,高倍物镜与大视场能力相互割裂,高倍模式下横向观测范围受限,想要兼顾全域扫...
06
2026
-
11
白光干涉仪的开展趋势:高精度为基础,大视场(Large Fi...
白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)基于低相干干涉原理,依靠亚纳米级垂直分辨率,长期作为微纳形貌表征的核心计量设备,广泛用...
05
2026
-
11
白光干涉仪的技术壁垒并非仅在精度,而在大视场(Large F...
白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)依托短相干干涉原理,小视场下亚纳米级纵向测量精度方案已经成熟,相关指标同质化程度较高,...
05
2026
-
11
白光干涉仪的工程应用难点:大视场下保持纳米级测量稳定性
白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)依靠短相干干涉原理,在小视场条件下可稳定实现亚纳米级纵向形貌测量,是半导体先进封装、高...
共102页
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